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    1505专刊--准分子激光器紫外镀膜、光刻(俄罗斯Optosystems)











    OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心,雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems的产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。


    准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


















    PLD专用准分子激光器 CL-7000PLD


    特点:

    金属陶瓷管材

    内置能量监测和稳定装置

    长寿命的开关闸流管

    高脉冲能量


    参数:

    波长:193/248nm

    脉冲能量:800mJ

    最大重频:50Hz

    脉宽:20~40ns


    应用:

    准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工








     






    窄线宽准分子激光器 CL-7500


    特点:

    窄线宽准分子激光器

    MOPA结构设计


    参数:

    波长:193/248nm

    脉冲能量:250mJ

    最大重频:50Hz

    线宽:<3pm

    脉宽:20ns


    应用:

    准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工















    1KHz准分子激光器 CL-7000k


    特点:

    千赫兹准分子激光器

    金属陶瓷管材

    内置能量稳定装置

    高光束指向稳定性


    参数:

    波长:193/248/308nm

    脉冲能量:40mJ

    最大重频:1000Hz

    脉宽:14~20ns


    应用:

    准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工







     






    4KHz准分子激光器 DC-4000


    特点:

    千赫兹准分子激光器

    高输出功率

    金属陶瓷管材

    内置能量稳定装置

    高光束指向稳定性


    参数:

    波长:193/248nm

    脉冲能量:40mJ

    最大输出功率:160W

    最大重频:4000Hz

    脉宽:17ns


    应用:

    准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工







     






    紧凑型准分子激光器 CLS-5000


    特点:

    紧凑型准分子激光器

    高重复频率

    内置能量监测和稳定装置

    高光束指向和位置稳定性


    参数:

    波长:193/248/308nm

    脉冲能量:25mJ

    最大重频:500Hz

    脉宽:12ns


    应用:

    准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工


















    脉动科技有限公司
    地址:北京市海淀区中关村东路84-9号二层;上海市茅台路868号光华大厦南楼1009室;西安市南二环西段太白立交西北未来城3号楼2404单元;深圳市南山区前海湾龙海家园15栋101室,
    电话:010-62565117  传真:010-62565117-803
    邮箱:[email protected]
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